광각 공정 자동 반도체 캐시트 초음파 세척 및 건조기 (세척 장비)

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제품 응용 분야: ● 리소그래피 공정: 포토레지스트 현상 후 세미콘 베이퍼 박스(FOUP, FOSB 등)를 세척하여 크로스 컨타미네이션을 방지합니다.

제품 특성:●초음파 세척과 분무, 기포 등 다양한 세척 공정을 결합했습니다. ●PLC全自动 프로그램 제어 시스템을 채택하여 장비의 자동화 수준이 높습니다. ●이탈리아 스텝식 브레이크 모터를 채택하여 안정적으로 작동합니다. ●건조 방식은 진공 건조를 채택하여 건조 효과가 좋고 물자국이 남지 않습니다. ●세척제 세척糟에는 순환 필터 시스템이 설치되어 세척액의 청결도를 효과적으로 보장하고 운행 비용을 절감합니다. ●스마트한 상하 던지기 장치를 설정하여 세척 효율과 세척 효과를 향상시킵니다.

제품 사양: ●SH-80150QCH。

제품 응용 프로그램: