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FFPM 불소고무 씰링, 고내열/내화학성, 반도체·진공용
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产品概述技术参数行业知识
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제품 적용: ●반도체 공정 장비 (CVD, PECVD, ALD, Etching 장비 등)의 챔버 씰링 부품 ●OLED, LCD 패널 제조 장비용 고진공 씰 ●진공 증착 장비 및 박막 증착 장비용 고내열·내화학성 O-링 ●고온/고부식성 화학 공정 라인의 밀봉 부품 ●의료기기 또는 제약 산업의 고청정 유체 밀봉 ●화학 플랜트의 반응기/배관용 씰 ●플라즈마 처리 장비 및 진공 펌프 부품 |
제품 특징: ●최상의 내열 특성 ●우수한 내화학 특성 ●뛰어난 기밀성 ●플라즈마 저항성 우수 |
제품 규격: (주요 표준) ●중국 국가 표준 GB1235-1976 (기존 설비 유지보수용으로 일부 사용) ●중국 국가 표준 GB/T3452.1-1992 (현재 가장 널리 사용되는 O-링 기준) ●미국 AS568 표준 ●일본 JIS2401 표준 |
제품 적용도:
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