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半导体备件其他辅助材料半导体制造高温适应性热电偶馈入装置(K型)
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半导体制造高温适应性热电偶馈入装置(K型)

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产品应用:

热电偶馈入装置广泛应用于需要高精度温度监测与控制的行业,包括半导体制造、真空设备、化工处理、实验室设备及高端工业炉等领域。

特别适用于高真空环境和需要高密封性的温度测量场景。

产品特性:

高温适应性:额定温度范围广(-100°C 至 450°C),满足各种苛刻工况需求。

优异密封性能:泄漏率低于1x10⁻⁹ atm cc/sec He,确保在高真空环境下的可靠性与稳定性。

高质量护套设计:采用护套结构,保护热电偶芯线,提升耐用性和寿命。

多通道设计:5通道(5CH)配置,可同时监控多个测点,提升系统集成度。

标准接口加工:SMPW-K-M 接头与法兰燕尾榫加工设计,安装便捷,兼容性好。

产品规格:

2.3Ø x 50L x SHX-K-F x 5CHSMPW-K-M x 法兰燕尾榫加工

额定温度:-100 至 450°C

泄漏率 < 1X10-9 ATM CC/SEC HE

产品展示图:

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