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半导体备件耗材类备件真空密封FFPM 全氟橡胶密封圈
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真空密封FFPM 全氟橡胶密封圈


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产品应用:

广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之 PVC, CVD 及蚀刻制程及各种高真空密封制程。

产品特性:

最佳耐热特性

优异的抗化学特性

优异的气密性

抗等离子体特性

产品规格:

主要标准如下:

中国国家标准 GB1235-1976(虽已废止,但一些老工厂和一些 早期设备的维修仍延续使用相关型号的产品)。

中国国家标准 GB/T3452.1-1992(现在国内使用最为广泛的 O 型圈执行标准,现在的 2000 版和 2005 版基本与其无差别) 。

美国企业执行标准 AS568 4.日本企业执行标准 JIS2401。

产品展示图:

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