等离子刻蚀6英寸硅上电极

产品概述：

6英寸硅上电极 是支撑6英寸晶圆特色工艺和先进分立器件制造的核心高端耗材。它虽然不是最前沿逻辑芯片的产物，但其无金属污染的特性和优异的工艺控制能力，正是高性能功率芯片、射频芯片和微传感器等高附加值产品能够实现高质量、规模化生产的重要保障。它的定期更换是维持设备最佳工艺状态、保证产品良率和性能一致性的必要环节，体现了其在半导体产业链中的关键价值。

产品应用：

●适用于 150mm 晶圆，主要用于研发、测试线及小批量生产。

●高纯度硅材质，减少金属污染，提高芯片良率。

●主要用于半导体制造过程中 等离子刻蚀（Plasma Etching） 设备的反应室（Chamber）中。

产品特性：

●双版本选择（Silicon Only / Elastomer Bonded），满足不同工艺需求。

●优化等离子体分布，提高刻蚀均匀性。

●耐热性强，减少颗粒污染，延长使用寿命。