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等离子密封高耐受性备件TechRes® IP88（全氟弹性体部件）
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●应用领域：半导体制造，场景：等离子体蚀刻、CVD（化学气相沉积）、晶圆清洗等制程中的密封件、O型圈、阀门座。 ●应用领域：石油与天然气，场景：炼化设备中的阀门、泵密封件（接触硫化氢、酸性介质）。 ●应用领域：化工与制药，场景：反应釜、管道密封、计量泵部件（接触强酸、强碱或有机溶剂）。 |
产品特性： ●高温稳定性：最大持续使用温度325˚C，适用于极端高温工况。 ●优异的等离子耐受性：能够在O₂ 和氟等离子体环境下最大程度减少颗粒污染，并减少质量损失。 ●低压缩永久变形（Compression Set）：即使在高温环境下也能保持长期的密封效果。 ●卓越的机械强度：具备高抗拉强度和断裂伸长率，可用于动态和静态密封。 ●减少气体释放（Outgassing）：优化的分子结构可降低密封材料在高温下的气体释放量，提升工艺稳定性。 |
产品规格： ●颜色：黑色 ●比重(Specific Gravity, 千克/立方厘米)：17.8。 ●100% 模量(Modulus, Mpa)：2.2。 ●抗拉强度(Tensile Strength,Mpa)：11。 ●断裂伸长率(Elongation at break,%)：144.3%。 ●硬度(Hardness, Shore A)：80。 ●压缩永久变形(Compression Set,70h @250°C)：21%。 ●最高持续使用温度(Max.Continuous Service Temperature,°C):320℃。 |
产品应用图（等离子体蚀刻）：
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