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LITHO


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产品特性:

高性能化学增强型紫外光刻胶‌LITHO,在半导体中代表光刻‌‌。光刻是通过感光材料一部分照光,将晶圆表面做出图形的技术,类似于胶卷的曝光。它是半导体制造中的一项关键工艺,常见的光源有紫外光、激光(激光直写)和电子束(E-beam lithography)‌


应用实绩:

‌高性能‌:SOKUDO LITHO系列光刻胶具有高分辨率、低剂量曝光和高选择性等特点,适用于先进的微细制造工艺‌

‌化学增强型‌:该系列光刻胶采用聚合物基质,并添加光敏剂和酸发生剂等成分,通过化学增强效应实现高分辨率的图案转移‌


应用场景:

SOKUDO LITHO系列光刻胶在4纳米芯片制造过程中有广泛应用,是制作微小尺寸和高密度芯片结构的重要材料‌

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