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Wet Station


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产品详情:

‌Wet Station是一种湿法刻蚀设备,主要用于微电子和纳米技术领域。‌‌


应用实绩:

‌全白色聚丙烯构造‌:设备主体采用全白色聚丙烯材料,具有良好的化学稳定性和耐腐蚀性。‌易操作性‌:设备设计便于操作,所有必要的组件都在操作者容易触及的地方,减少了安装和维护的时间和难度。‌多功能性‌:可以内置多种匀胶机(旋涂仪),并且配备简便的入氮口和DI喷头,适用于多种处理过程。


用途/用法:

涂布‌:在微电子制造中,湿法刻蚀设备用于在硅片上涂布光刻胶,这是制造集成电路的关键步骤之一。‌刻蚀‌:刻蚀过程用于去除硅片上的不需要的材料,形成电路图案。‌显影‌:使用水或溶剂将光刻胶显影,以暴露出电路图案。‌清洗‌:使用水或溶剂清洗硅片,去除残留的光刻胶和其他杂质。


应用场景:

Wet Station在微电子制造中具有高效、稳定和可靠的处理能力,满足不同工艺需求。

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